钛泵的性能

(1)ji限压力:10-8帕。

(2)抽速:

钛泵的泵送速度与阳*电压和磁场强度有关。当磁场强时，泵送速度也很大，与其它泵送速度相对应的阳*电压也很高。钛泵钛泵的泵送速度为25升/秒.5升/秒。对于需要大泵送速度的场合，基本结构单元可并联使泵送速度达到50升/秒.100升/秒。

(3)启动压力:10-2帕

(4)寿命:

A.阴*耗尽寿命。

阴*钛板不能用于泵送阴*钛板。

b.阳*剥落寿命。

钛膜在阳*沉积过大时会剥落，导致泵内压力不规则，变化强烈，使泵无法使用。

c.阳*吸饱寿命。

当达到饱和时，泵不能再吸附气体。

在正常情况下，溅射离子泵的使用寿命可达数万小时。

除气机理

(1)去除活性气体。

排除N2.O2.CO、CO2等气体主要依靠积聚在阳*筒内壁的钛膜的化学吸附。

(2)去除氢气

除氢具有化学吸附、扩散、吸收、溶解等功能。

(3)去除惰性气体

排除惰性气体主要依靠离子埋葬。当电离惰性气体离子轰击阴*时，有三种情况：

A.离子直接进入阴*，或进入阳*板对面阴*边缘的钛积层；

b.斜射离子切入阴*表面，离子和钛被拆除并沉积在阴*板周围或其他地方；

c.离子从阴*中获得电子，复合成中性原子，然后反射到阳*内表面的钛膜中，而不是进入板内。

钛泵电源

钛泵的电源为高内阻电源，空载输出电压在3~7KV之间，但当负载电流较大时，输出电压降至400V左右。溅射离子泵一般采用5KV倍压整流电源。钛泵阴阳*的放电电流可以反映泵空间的真空度。额定电压和磁场强度下溅射离子泵的放电电流Iion(ma)与压力P(Torr）有一定的曲线关系。因此，离子泵电源可以反映压力。

泵电源面板显示：输出直流高压和钛泵放电电流。